這是一種開創(chuàng)性的氣體分離技術(shù)，它采用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口碳分子篩（CMS）作為吸附劑，利用變壓吸附原理（PSA）在室溫下分離空氣以產(chǎn)生高純度氮?dú)狻Ｑ鹾偷诜肿雍Y表面的分散速率不同。直徑較小的氣體分子（O2）具有較快的分散速度，更多地進(jìn)入碳分子篩的微孔。直徑較大的氣體分子（N2）分散速度較慢，進(jìn)入碳分子篩微孔的較少。碳分子篩對氮和氧的選擇性吸附的這種差異導(dǎo)致在短時間內(nèi)富集吸附相中的氧和氣相中的氮。這樣就將氧和氮分離，在PSA條件下得到氣相富集氮。

　　

　　液質(zhì)聯(lián)用氮?dú)獍l(fā)生器的具有一定流量和純度的普通氮?dú)馀c氫液相色譜-質(zhì)譜制氮機(jī)氣體一起進(jìn)入設(shè)定裝置。在混合器中充分混合后，進(jìn)入裝有鈀催化劑的脫氧器的設(shè)置裝置。2h2+o2=2h2o的化學(xué)反應(yīng)在脫氧催化劑的作用下發(fā)生，達(dá)到脫氧的目的。經(jīng)液相色譜-質(zhì)譜制氮機(jī)脫氧后，氮?dú)庵械乃畾庠谑住⒛├鋮s器中進(jìn)行脫水，然后將氮?dú)庖来瓮ㄈ雴握{(diào)，使氮?dú)饴饵c(diǎn)達(dá)到-60℃左右。配備兩臺單調(diào)，一臺用于吸附單調(diào)，另一臺用于吸附大量水氣的單調(diào)再生，為下一輪吸附工作做準(zhǔn)備。通過單調(diào)氮?dú)膺^濾器除塵得到高純度氮?dú)狻７肿雍Y對氧氣的吸附達(dá)到平衡。根據(jù)碳分子篩在不同壓力下對被吸附氣體的吸附能力不同，壓降使碳分子篩不吸附氧氣。這個過程就是再生。根據(jù)再生壓力不同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生有利于分子篩的*再生，容易獲得高純度氣體。